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기술명 이종 물질의 동시증착에 의한 초전도 박막의 완충층
기술분야 화학/환경
기술개요 본 발명은 초전도 박막의 완충층에 관한 것으로, 이종의 물질을 동시에 증착할 수 있는 다수개의 증착장치로부터 증착성분이 기판에 도달되는 경로를 제어하여 단일 완충층이 증착되는 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착 에 의한 초전도 박막의 완충층을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의 완충층을 단일 공정으로 증착시킬 수 있어 초전도 박막의 제조 시간 단축 및 비용의 저렴화로 경제적이며, 또한 이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의 단일 완충층은 기판의 결정 배향성이 초전도층까지 유지되고 기판의 성분에 대한 확산장벽으로 충분한 역할을 수행할 수 있는 새로운 완충층으로써 기대되고 있으며, 또한 상기 초전 도 박막의 완충층으로써, YZO층(Yttrium Zirconium Oxide layer) 또는 CZO층(Cerium Zirconium Oxide layer)을 포함하는 초전도 박막의 완충층을 제공하며, 이는 종래의 YSZ(Yittrium Stablized Zirconium)와는 완전히 다른 신물질로써 초전도 특성을 개선시키는 이점이 있다.
기술개발상태 기술개발완료
기술개발국가 국내
희망거래유형 기술매매
기술이전조건 협의
기술판매자정보 특허법인 부경
주소 부산광역시 연제구 법원남로15번길 12, 6층(거제동,대한타워빌딩)
연락처 전화번호 : 051-503-6633 / E-Mail : pat@pnkpat.com
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