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부산 경남 최고의 특허법인 부경

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기술명 내열성 전극물질을 이용한 실리콘 카바이드 반도체소자 및 그 제작 방법
기술분야 전기/전자
기술개요 본 발명은 실리콘 카바이드 반도체소자의 새로운 제조방법에 관한 것으로서, 특히 실리콘 카바이드에 이온주입 후 열처리에 필요한 통상 1700 o C 내외의 고온을 견딜 수 있는 내열성 합금 또는 내열성 화합물을 전극재료로 사 용하여 실리콘 카바이드 수직형 반도체소자의 제작과정을 간략화 하는 것이다. 여기에서, 내열성이 우수한 물질 은 티타늄-텅스텐(TiW) 합금, 탄탈륨 카바이드(tantalum carbide), 티타늄 카바이드(titanium carbide), 텅스텐 카바이드(tungsten carbide), 티타늄 실리사이드(Titaniium silicide), 탄탈륨 실리사이드(Tantalum silicide), 텅스텐 실리사이드(tungsten silicide) 등을 전극재료로 사용하는 방법을 제시한다. 이에 따라, 이온주입 열처리 를 진행한 후 전극을 형성했던 기존의 방법과는 달리 전극재료를 실리콘 카바이드 위에 형성한 후에 이온주입 열 처리를 실시할 수 있으며, 특히 메사(mesa) 구조를 갖고 있는 실리콘 카바이드 수직형 반도체소자의 제작과정을 간소화할 수 있는 장점이 있다.
기술개발상태 기술개발완료
기술개발국가 국내
희망거래유형 기술매매
기술이전조건 협의
기술판매자정보 특허법인 부경
주소 부산광역시 연제구 법원남로15번길 12, 6층(거제동,대한타워빌딩)
연락처 전화번호 : 051-503-6633 / E-Mail : pat@pnkpat.com
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