| 기술개요 |
본 발명은 광으로부터 발생된 전자기파를 이용한 분광/영상 측정에 있어 공간 분해능을 높이면서도 측정 속도를
개선할 수 있는 시스템을 제공하는데 있다. 본 발명의 일면에 따른 분광/영상 측정 방법은, 전자기파 생성을 위
한 레이저 광을 광학계로 집속시키고 펠리클 또는 홀을 가진 반사면으로 이루어진 반사판을 투과시켜 스캐닝 미
러를 통해 THz파 생성을 위한 광학 결정체로 입사시키되, 상기 광학 결정체 하부에 측정 대상 시료를 보호하고
상기 광학 결정체를 보호하며 특정 주파수의 THz파를 통과시키기 위한 기능성 레이어가 형성되도록 하며, 상기
기능성 레이어 하부의 상기 시료를 투과한 THz파를 측정하거나, 또는 상기 시료에서 반사되는 THz파를 상기 스캐
닝 미러와 상기 반사판을 이용하여 재반사시켜 검출함으로써 높은 공간 분해능을 얻도록 한다. 또한, 반사 측정
에 있어 스캐닝 미러에 포함된 두 미러를 이용하여 레이저 스캐닝만으로도 이차원 THz파 검출이 가능하여 기존의
시료 이동을 이용한 측정에서의 속도 한계를 획기적으로 개선할 수 있다. |
