| 기술개요 |
본 발명은 초전도 박막의 완충층에 관한 것으로, 이종의 물질을 동시에 증착할 수 있는 다수개의 증착장치로부터
증착성분이 기판에 도달되는 경로를 제어하여 단일 완충층이 증착되는 것을 특징으로 하는 이종 물질의 동시증착
에 의한 초전도 박막의 완충층을 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의
완충층을 단일 공정으로 증착시킬 수 있어 초전도 박막의 제조 시간 단축 및 비용의 저렴화로 경제적이며, 또한
이종 물질의 동시증착에 의해 초전도 박막의 단일 완충층은 기판의 결정 배향성이 초전도층까지 유지되고 기판의
성분에 대한 확산장벽으로 충분한 역할을 수행할 수 있는 새로운 완충층으로써 기대되고 있으며, 또한 상기 초전
도 박막의 완충층으로써, YZO층(Yttrium Zirconium Oxide layer) 또는 CZO층(Cerium Zirconium Oxide layer)을
포함하는 초전도 박막의 완충층을 제공하며, 이는 종래의 YSZ(Yittrium Stablized Zirconium)와는 완전히 다른
신물질로써 초전도 특성을 개선시키는 이점이 있다. |
