| 기술개요 |
본 발명은 초전도 선재 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 챔버와; 상기 챔버 내부에 형성된 기판과; 상기 기
판 후면에 형성되어 외부 전원에 연결되어 발열되고, 기판에 열을 전달시키는 히터와; 상기 기판에 대응되게 형
성되어, 기판에 증착되는 두 가지 이상의 원료물질이 액체상태로 혼합수용되고, 혼합된 원료물질이 이동되어 기
화부에서 혼합 원료물질이 증발되는 증발기; 그리고, 상기 기판과 증발기 사이에 형성되고, 등간격으로 산소노즐
이 형성되어 상기 기판측으로 산소를 공급시키는 산소공급부;를 포함하여 구성되는 초전도 선재 제조장치를 기술
적 요지로 한다. 그리고 본 발명은 챔버내에서 두 가지 이상의 원료물질을 증발기에 액체상태로 혼합수용시키고
혼합된 원료물질을 이송시켜 기화부에서 혼합 원료물질을 증발시켜 기판에 박막을 증착시키고, 상기 기판에 인접
한 산소공급부에 형성된 산소노즐을 이용하여 기판 측으로 산소를 공급시키고, 히터를 이용하여 외부에서 열을
공급시킴에 의해 기판을 열처리하고 동시에 공급되는 산소에 의해 기판에 형성되는 박막이 산화반응되는 초전도
선재 제조방법을 또한 기술적 요지로 한다. 이에 따라, 일정한 조성비를 갖는 액체상태 원료물질이 액체유도관
(620)을 통하여 지속적으로 공급되고 동시에 산소를 공급시켜 박막을 형성시킴에 의해, 시간에 따른 조성비 변화
가 없는 박막이 형성되고 즉각적인 열처리에 의해 안정된 산화물 초전도체층이 형성된 초전도 선재가 형성되는
이점이 있다. |
